Mikroskop konfokalny materiałowy (Olympus LEXT OLS4100)
Obserwacje i pomiary struk-tur powierzchniowych w świetle odbitym, obrazy 3D, polaryzacja, analiza chropowatości, przekroje. Szybka akwizycja obrazu i wysoka rozdzielczość obrazu w sze-rokim zakresie. Źródło światła: laser półprzewodnikowy 405 nm, całkowite powiększenie 108× – 17280×. Roz-dzielczość pomiaru wysokości 10 nm, rozdzielczość x-y 120 nm.